扫描电镜

Equipment Name

资产编号

J2001470

规格/型号

TESCAN VEGA3

生产厂商

TESCAN Brno,s.r.o.

国别

捷克

所属单位

复旦大学环境科学与工程系

联系电话

负责人

张立武

性能指标

分辨率：高真空模式(SE)：≤3.0 nm(30kV)，≤8.0 nm(3kV)；

低真空模式(BSE)：≤ 3.5 nm（30kV）；

能谱仪：能量分辨率 ：< 129 eV at Mn-K，分析范围：B4~U92；

加速电压范围：≥200 V - 30 kV；

探针电流范围：≥1 pA - 2 μA；

放大倍数范围：≥ 3 × ~ 1,000,000 ×；

水平视场宽度：分析工作距离 ≥7 mm，30 mm时≥22 mm；

主要应用

分析微纳米塑料颗粒降解过程微观形貌变化，并表征大气中气溶胶等颗粒物的形貌；

表征催化剂、材料的形状、形貌及元素分布

低真空下的原位反应

样品要求

样品无磁性、腐蚀性、毒性和不易会挥发，高度小于10mm。

适用于亚微米尺度观察。

仪器说明

TESCAN VEGA3扫描电镜是一台超高分辨扫描电镜。该电镜以钨灯丝作为电子源，并具有低真空度观测的功能。该电镜高真空分辨率为3.0 nm，低真空后为3.5nm。加速电压范围为0.2-30 kV，连续可调。放大倍数为3 – 1,000,000倍，而且VEGA 3 SBU独有的大视野模式保证低倍下图像不畸变，可以进行直接测量。独有的中真空技术，在3-150 Pa的真空范围，不需要在极靴下插入低真空光阑，可以直接从高真空模式切换到低真空模式。此外，VEGA 3 SBU的探测器均采用YAG晶体，其特点是无限使用寿命，信噪比好，响应速度快。

学习资料

《仪器使用手册》，《仪器使用手册（简化版）》，《仪器使用教学视频》

收费标准

400元/小时